自然界臭氧的產生主要來自于雷電。在高空空氣對流過程中使云產生電荷，云上部的正電荷和下部的負電荷形成電位差，也是兩個電極；當電位差到一定程度產生放電，這就是閃電。閃電可達1億~10億的高壓，高壓電離空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，這就是臭氧的自然形成過程。雷雨過后，空氣清新無比，在郊外還往往能聞到淡淡的草腥味，這是臭氧在空氣中殺菌消毒的緣故。人工制取臭氧也可利用高壓放電的原理取得，也有通過化學、原子輻射的方法得到。利用高壓電離或化學反應使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程。這些產生臭氧的設備就稱之為臭氧發生器，其功能應用于消毒殺菌方面則稱為臭氧消毒機。臭氧發生器高壓放電式發生器是最常見的臭氧產生方式，其方法是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。這類臭氧發生器具有技術成熟，工作穩定，使用壽命長，臭氧產量大（單機可達1kg/h）等優點，被國內外相關行業廣泛使用。高壓放電臭氧發生器按不同標準可分為幾種類型，按高壓電頻率劃分，有工頻（50~60Hz）、中頻（400~1000Hz）和高頻（>1000Hz）。按氣體原料可分為氧氣型和空氣型兩種，氧氣型通常是氧氣瓶或制氧機供應氧氣，空氣型則使用潔凈空氣作為原料。按冷卻方式可分為水冷型和風冷型，其作用是在臭氧發生器工作時因高溫產生大量熱能需冷卻。按介電材料有玻璃管、陶瓷管、搪瓷管等，玻璃管、陶瓷管成本底但機械強度差，壽命短，使用受限制，而搪瓷管則無心上缺點，且濃度高，在大型臭氧發生器中廣泛使用。除高壓放電臭氧發生器之外，有紫外線式臭氧發生器，但其臭氧產量低、使用壽命短等缺點明顯，其作用范圍極窄；還有電解式臭氧發生器，通過電解純凈水產生臭氧，但臭氧產量小，電極壽命短，臭氧不易收集，用途受限制。臭氧的用途很廣，作為氧化劑、催化劑，可用于化工、石油、造紙、紡織、制藥等工業，作為漂白劑，或用于造紙、紡織印染等。但其作用為大眾最為熟悉的，仍然是臭氧的消毒殺菌功能。臭氧發生器用于消毒殺菌稱為臭氧消毒機，其消毒的原理是依據臭氧的強氧化性，可瞬間溶解細胞而殺死細菌，來達到消毒的目的。同時對某些有害物質，如二手煙（其有害物質主要為尼古丁、一氧化碳等）、甲醛甲苯，某些重金屬也有分解的作用。另外，小型臭氧發生器也開始向民用領域拓展，如臭氧用于分解肉類激素，這便是果蔬解毒清洗機，亦稱洗菜機。
